大家好,我是小新,我来为大家解答以上问题。低温等离子电刀,低温等离子很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、低温等离子体源主要包括:电子回旋共振等离子体源(ECRs)、裂缝天线型微波等离子体源、感应耦合等离子体源(ICPs)、甚高频容性耦合等离子体源(VHF-CCPs)。
本文到此讲解完毕了,希望对大家有帮助。
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