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低温等离子电刀(低温等离子)

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1、低温等离子体源主要包括:电子回旋共振等离子体源(ECRs)、裂缝天线型微波等离子体源、感应耦合等离子体源(ICPs)、甚高频容性耦合等离子体源(VHF-CCPs)。

本文到此讲解完毕了,希望对大家有帮助。

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